它是如何工作的？探針臺(tái)將晶圓或芯片固定在安裝在平臺(tái)上的卡盤(pán)上，該平臺(tái)允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。機(jī)械手放置在平臺(tái)的平面上，并在機(jī)械手中插入探針臂和先進(jìn)。探頭先進(jìn)必須適合要執(zhí)行的測(cè)試程序。然后，用戶通過(guò)調(diào)整相應(yīng)的操縱器將探針先進(jìn)精確定位在設(shè)備內(nèi)的正確位置。然后通過(guò)降低壓板使探針與晶片接觸；現(xiàn)在可以測(cè)試該設(shè)備。對(duì)于具有多個(gè)器件的晶圓，在測(cè)試一個(gè)器件后，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺(tái)移動(dòng)到下一個(gè)器件。探針臺(tái)建設(shè)需要綜合考慮技術(shù)、人力、資金等眾多因素。安徽高精度探針臺(tái)

探針臺(tái)分類(lèi)，探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)，從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)(較低溫探針臺(tái))，RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型，根據(jù)客戶需求定制：chuck尺寸:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選)；X-Y移動(dòng)行程:4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選)；chuck Z軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離；顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)；顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門(mén)結(jié)構(gòu)型(可選)；探針座:有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān)；可搭配Probe card測(cè)試；適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。浙江半導(dǎo)體晶圓測(cè)試探針臺(tái)價(jià)位探針臺(tái)的科技成果對(duì)推進(jìn)全球科學(xué)事業(yè)、推動(dòng)人類(lèi)文明進(jìn)步發(fā)揮著重要的作用。

探針臺(tái)的作用是什么？探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?，從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜，包括微電路的完整功能測(cè)試?？梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入較終產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯，這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。

目前，市面上定位器主要的形式有三種：（1）燕尾導(dǎo)向型。使用燕尾導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可有效地降低產(chǎn)品成本。缺點(diǎn)是，直線導(dǎo)向精度比交叉滾子導(dǎo)軌要差，并不適用于高精度操作。通?？吹皆擃?lèi)配置都是與配套了體視顯微鏡的探針臺(tái)搭配使用。（2）交叉滾子導(dǎo)軌導(dǎo)向型。相比于燕尾導(dǎo)軌，直線精度有效地提高了。適用于目前大部分客戶的定位需求。缺點(diǎn)是，超高倍數(shù)下因?yàn)闄C(jī)構(gòu)原因（XYZ機(jī)構(gòu)是像蛋糕一樣一層疊一層），手部操作的震動(dòng)很容易傳遞到探針上。在高倍下探針的震動(dòng)會(huì)被觀察到，很影響用戶扎探針。比如要把探針扎到幾微米甚至1微米左右的PAD上，將會(huì)相對(duì)比較困難。（3）交叉滾子導(dǎo)向、高穩(wěn)定型。該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)把定位器上移動(dòng)機(jī)構(gòu)（XYZ）和驅(qū)動(dòng)絲桿分開(kāi)，能有效地將手部操作產(chǎn)生的震動(dòng)隔離，實(shí)現(xiàn)真空意義上的高精度、高穩(wěn)定操作（Submicron Probing）。探針臺(tái)的建設(shè)需要克服地球環(huán)境和宇宙環(huán)境的技術(shù)差距。

探針臺(tái)可以在整個(gè)晶圓上或被鋸成單個(gè)芯片后運(yùn)行測(cè)試。整個(gè)晶圓級(jí)的測(cè)試允許制造商在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的不同階段多次測(cè)試設(shè)備，并密切監(jiān)控制造以查看是否存在任何缺陷。在較終封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除，確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析中都有很大的用途，工程師需要靈活而精確的工具來(lái)對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。讓一個(gè)好的探針臺(tái)與眾不同并為您的測(cè)試增加價(jià)值的是它能夠精確控制這些探針在設(shè)備上的位置、外部刺激的應(yīng)用方式以及測(cè)試發(fā)生時(shí)設(shè)備周?chē)沫h(huán)境條件。探針臺(tái)的科研成果有助于人類(lèi)更有效地保護(hù)地球和地球上的所有生命。安徽高精度探針臺(tái)價(jià)格

探針臺(tái)能夠幫助科學(xué)家解決在太空探索過(guò)程中的技術(shù)難題。安徽高精度探針臺(tái)

除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過(guò)探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。 在封裝之前對(duì)單個(gè)芯片進(jìn)行測(cè)試可以將有缺陷的器件從流通中移除，確保只封裝功能器件。探針臺(tái)在整個(gè)研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析中都有很大的用途，工程師需要靈活而精確的工具來(lái)對(duì)設(shè)備的不同區(qū)域進(jìn)行一系列測(cè)試。安徽高精度探針臺(tái)

深圳市泰克光電科技有限公司致力于能源，是一家生產(chǎn)型的公司。公司業(yè)務(wù)涵蓋探針臺(tái)，芯片測(cè)試機(jī)，藍(lán)膜編帶機(jī)，分光編帶機(jī)等，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證。公司從事能源多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批專(zhuān)業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。泰克光電立足于全國(guó)市場(chǎng)，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，融合前沿的技術(shù)理念，及時(shí)響應(yīng)客戶的需求。

本文來(lái)自臨沂隆利數(shù)控機(jī)床有限公司：http://www.1pkhj.com/Article/8f8399908.html